質(zhì)量流量控制器概述
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熱式質(zhì)量流量控制器,利用氣流流過(guò)毛細管,改變毛細管溫度分布,造成上下游溫差方法,而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計,其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應氣流瞬時(shí)流量, 所以特別適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介
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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。
特點(diǎn):流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。